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簡(jiǎn)單來說：電容式壓力變送器的傳感器也就是敏感元件是電容，壓力改變時(shí)，敏感元件的電容容量發(fā)生變化。擴(kuò)散硅壓力變送器的敏感元件是擴(kuò)散型硅壓阻芯片，當(dāng)壓力改變時(shí)，擴(kuò)散硅的阻值發(fā)生變化。

ZX-3051GP電容式壓力變送器通過檢測(cè)中心測(cè)量膜片與兩側(cè)測(cè)量室壁之間的電容變化來判別膜片受壓位移狀況。ZX-801A擴(kuò)散硅壓力變送器有兩類，其中一類是將擴(kuò)散硅電橋植入到檢測(cè)中心測(cè)量膜片上來判別膜片受壓位移狀況。以上兩種由于是直接測(cè)量中心測(cè)量膜片（被測(cè)壓力直接作用處）的位移。且測(cè)量膜片可以加上巨大的預(yù)應(yīng)張力，使得金屬膜片位移所導(dǎo)致的應(yīng)力影響極小。所以精度較高。另一種擴(kuò)散硅壓力變送器是將測(cè)量膜片感受的力傳導(dǎo)到一個(gè)擴(kuò)散硅傳感器，通過擴(kuò)散硅傳感器的輸出來得出被測(cè)壓力。由于壓力不是作用在傳感器上而是加了一次傳遞，所以相對(duì)精度低一些，且擴(kuò)散硅元件品質(zhì)不一（多數(shù)變送器廠家不是自己生產(chǎn)擴(kuò)散硅元件）導(dǎo)致質(zhì)量差別很大。但是，但是價(jià)格可以很低。